半導(dǎo)體、液晶面板等信息產(chǎn)業(yè)中設(shè)備制造用驅(qū)動(dòng)裝置有滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌和滾動(dòng)軸承，他們的潤(rùn)滑脂導(dǎo)致的顆粒具有惡劣影響。潤(rùn)滑脂產(chǎn)生的顆粒是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的污染源，是導(dǎo)致失去產(chǎn)品價(jià)值的缺陷的主要原因。

以往的環(huán)境下一般使用蒸發(fā)量小的氟素系潤(rùn)滑脂，但存在摩擦力矩，耐磨性及耐蝕性等問(wèn)題。但是市售的以礦物油和合成油為基油的潤(rùn)滑脂產(chǎn)塵量過(guò)大，存在不適合清潔環(huán)境的問(wèn)題。

為了改善這個(gè)問(wèn)題，NSK開(kāi)發(fā)了清潔環(huán)境用LG2、LGU潤(rùn)滑脂。

1.LG2潤(rùn)滑脂通過(guò)最合適的配比，在嚴(yán)格精密的制作條件下，實(shí)現(xiàn)的低產(chǎn)塵性。同時(shí)具有耐磨損性、耐蝕性和低摩擦力矩等優(yōu)異特性的潤(rùn)滑脂。

  (1) LG2潤(rùn)滑脂通常用于半導(dǎo)體或液晶制造等常溫常壓環(huán)境下使用的滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌，旋轉(zhuǎn)軸承。

  (2) LG2潤(rùn)滑脂與其他市售潤(rùn)滑脂相比產(chǎn)塵量更少，具有優(yōu)異的耐磨損性、低摩擦力矩、耐蝕性。

  (3) 產(chǎn)塵物質(zhì)是潤(rùn)滑脂成分，尺寸越小粒子越多。潤(rùn)滑脂的產(chǎn)塵量差主要取決于由于小尺寸產(chǎn)塵粒子的生成難易程度。

  (4) 隨著環(huán)境溫度、轉(zhuǎn)速的升高、增大，潤(rùn)滑脂產(chǎn)塵量急劇增大。考慮到低產(chǎn)塵性的維持，LG2的使用溫度界限為70℃

2.LGU潤(rùn)滑脂則在LG2潤(rùn)滑脂之上，具有更高的溫度使用范圍，同時(shí)從配方成分去除了金屬元素。